半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料,半導體在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明應用、大功率電源轉換等發應用,如二極管就是采用半導體制作的器件,無論從科技或是經濟發展的角度來看,半導體的重要性都是非常巨大的。
現在大部分的電子產品,如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯,常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導體材料中,在商業應用上最具有影響力的一種。
硅片清洗對半導體工業的重要性早在50年代初就已引起人們的高度重視,硅片表面的污染物會嚴重影響器件的性能、可靠性、和成品率,隨著微電子技術的飛速發展以及人們對原料要求的提高,污染物對器件的影響也愈加突出。
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